●電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A) ●電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。 ●電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa ● 電子制造行業(yè)萬(wàn)級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值: ● 補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。 ● 保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統加熱器,應設置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點(diǎn)加濕時(shí)應設置無(wú)水保護,寒冷地區,新風(fēng)系統應設置防凍保護措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應取下面三項最大值: ●保證電子制造廠(chǎng)無(wú)塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量: ●根據熱,濕負荷計算確定電子廠(chǎng)潔凈室的送風(fēng)量: ●向電子制造廠(chǎng)潔凈室內供給的新鮮空氣量:
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